a 한국기계연구원 부설 재료연구소 엔지니어링세라믹연구실
b 금오공과대학교 신소재공학부
a Engineering Ceramics Research group, Korea Institute of Materials Science, 797 Changwondaero, Changwon, Gyeongnam 51508, Republic of Korea
b Department of Materials Science and Engineering, Kumoh National Institute of Technology, 61 Daehak-ro, Gumi, Gyeongbuk, Republic of Korea
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Specimen | Si | Sapphire | 10 vol% SiC | 17.5 vol% SiC | 20 vol% SiC | 30 vol% SiC |
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Etch rate (g/min) | 1.09 × 10-5 | 1.02 × 10-6 | 1.28 × 10-6 | 2.06 × 10-6 | 2.25 × 10-6 | 2.63 × 10-6 |
(1) Al2O3-SiC 복합세라믹의 가소결체에 Mg, Y 의 질산 염 수용액을 진공함침함으로써 상압에서 소결특성을 대폭 개선하였으며, 이는 기존에 보고된 문헌에 비해 우수한 소 결특성을 나타낸 것이다. 염 형태의 소결조제를 사용함으 로써 균질하게 분포된 양이온 소결조제가 소결성을 향상 시킨 것으로 사료된다.
(2) 제반 특성의 평가를 통해 복합세라믹의 SiC 최적첨 가량을 17.5 vol%로 도출하였다. 그 이상 SiC를 첨가하면 치밀화가 완전히 이루어지지 않아 굽힘강도가 저하되고 내플라즈마성 또한 열화되며, 너무 적은 양을 첨가하면 대 전방지 특성에 핵심인자인 전기저항이 낮아지지 않아 그 역할을 할 수 없을 것으로 판단된다.
(3) 3) 다양한 제반 특성과 내마모성까지 종합적으로 평가 한 결과, Al2O3-SiC 복합세라믹 소결체는 기존에 반도체 장치의 내부 부품으로 사용되는 Si, Al2O3 소재를 대체할 수 있는 후보소재로써 잠재성이 충분히 있는 것으로 판단 된다.